隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,對真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴,測量范圍達(dá)16個數(shù)量級。由于物理特性的原因,沒有一個單獨的真空計能夠在整個壓力范圍內(nèi)進行定量測量。萊寶提供一系列采用不同設(shè)計的具有各自特有測量范圍(測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量)的真空計。
直接壓力測量原理:
■ CERAVAC型真空計,配備靈敏度不同的電容薄膜,適合測量的壓力范圍從10-5mbar至1333mbar,精度極高。
■ DI/DU系列電容和壓電式真空計,絕對壓力范圍0.1mbar至2000mbar;相對壓力范圍-1000mbar至+1000mbar。
間接壓力測量原理:
■ 皮拉尼熱導(dǎo)真空計(THERMOVAC)
■ 冷陰極電離真空計(PENNINGVAC)
■ 熱陰極電離真空計(IONIVAC,IE傳感器),測量壓力范圍1000mbar至10-12mbar。
萊寶真空計的優(yōu)勢:
■ 可靠性高
■ 操作簡單
■ 測量結(jié)果重復(fù)性好
■ 持續(xù)監(jiān)視若干測量地點
■ 安裝簡單并且節(jié)省成本和空間
■ 測量地點和加工站之間的傳輸距離變長(可達(dá)100米)
■ 通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計算機
■ 符合電磁兼容性(EMC)要求
■ 符合國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程(CE,UL,RoHS,WEEE等)