當(dāng)前位置：
概述
nXDSi 是下一代完全無(wú)油的干式渦旋泵，并取代 XDS。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了較新的端部密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可完全進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
用途
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級(jí)渦輪泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂
蒸餾/萃取/過(guò)濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢(shì)
真空外殼中不需要使用潤(rùn)滑劑，完全密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長(zhǎng)
簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需較低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間
改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本
接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
技術(shù)數(shù)據(jù)
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標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 |
1800 rpm |
1800 rpm |
1800 rpm |
1800 rpm |
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排量 |
6.8 m3h-1 |
12.7 m3h-1 |
17.1 m3h-1 |
28.0 m3h-1 |
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峰值抽速 |
6.2 m3h-1 |
11.4 m3h-1 |
15.1 m3h-1 |
22.0 m3h-1 |
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極限真空（總壓力） |
0.020 mbar |
0.007 mbar |
0.007 mbar |
0.030 mbar |
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較小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 |
1200 rpm |
1200 rpm |
1200 rpm |
1200 rpm |
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速度控制精度 |
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（以全速百分比表示） |
1% |
1% |
1% |
1% |
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較小轉(zhuǎn)速時(shí)的抽速 |
4.1 |
7.5 |
9.9 |
10 |
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較大連續(xù)進(jìn)氣口壓力 |
200 mbar |
200 mbar |
200 mbar |
50 mbar |
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電機(jī)功率（一相） |
260 W |
280 W |
300 W |
260 W |
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電源連接器（1 相） |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
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推薦保險(xiǎn)絲 |
10A，250Vac rms |
10A，250Vac rms |
10A，250Vac rms |
10A，250Vac rms |
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重量 |
26.2 kg / 58 lb |
25.8 kg / 57 lb |
25.2 kg / 56 lb |
25.6 kg / 56 lb |
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入口法蘭 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
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排氣口法蘭 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
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噪音級(jí)別 |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
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入口法蘭處抗振性 |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
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密封性（靜態(tài)） |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
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工作溫度范圍 |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
